V rabote proveden analiz principov raboty poluprovodnikovyh gazovyh sensorov rezistivnogo tipa, sformulirovana matematicheskaya model', svyazyvajushhaya vyhodnye harakteristiki sensorov s parametrami adsorbirujushhegosya gaza, aktivnogo sloya i rabochego rezhima. Predlozhena procedura rascheta uslovij, pri vypolnenii kotoryh model' aktivnogo gazochuvstvitel'nogo sloya sensorov sushhestvenno uproshhaetsya i spravedlivo priblizhenie polnost'ju obednennyh osnovnymi nositelyami zaryada melkodispersnyh polikristallicheskih sloev shirokozonnyh poluprovodnikov. S pomoshh'ju postroennoj teorii gazochuvstvitel'nosti tonkih plenok shirokozonnyh poluprovodnikov (v priblizhenii polnost'ju obednennyh zeren aktivnyh sloev sensorov) predlozheno opisanie processov, opredelyajushhih osnovnye harakteristiki poluprovodnikovyh gazovyh sensorov rezistivnogo tipa, v analiticheskom vide polucheny sootnosheniya, svyazyvajushhie gazochuvstvitel'nost' aktivnyh sloev sensorov s ih svojstvami, svojstvami gaza, osnovnymi parametrami sloev i rezhimov raboty.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.