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Beim Laserstrahlstrukturieren sorgen eine Vielzahl von Parameterkombinationen für ein nicht vorhersagbares Abtragergebnis. In dieser Dissertation wurde ein automatisiertes Verfahren zur Bestimmung von zeitlichen Parametern der Scannerspiegel entwickelt, welches Einbrandeffekte an Strukturrändern verhindert. Außerdem wurde ein Messgerät für eine online-adaptive Regelung in den Prozess integriert, welches den Abtragprozess kontinuierlich überwacht und entsprechend der programmierten Abtragtiefe regelt.