Dannaya kniga yavlyaetsya obobshheniem raboty avtorov v ramkah dissertacionnoj raboty Zakirovoj R.M. V knige opisano primenenie oblucheniya nizkojenergeticheskimi ionami dlya modifikacii svojstv tonkih plenok, v chastnosti oxida indiya, legirovannogo olovom. Pokazano, chto ispol'zovanie ionno-luchevoj obrabotki, cheredujushhejsya s processom reaktivnogo VCh magnetronnogo raspyleniya, pozvolyaet poluchat' prozrachnye provodyashhie pokrytiya pri nizkih (25 - 50 °C) temperaturah osazhdeniya