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I progressi nella tecnologia di fabbricazione ad alto coefficiente k hanno consentito enormi progressi nel settore della microelettronica, migliorando le prestazioni dei singoli transistor e consentendo l'integrazione di un maggior numero di transistor in un chip. Negli anni a venire, il MOS ad alto coefficiente k potrebbe cambiare gli scenari della produzione di transistor di piccole dimensioni. Per questo motivo, gli studi su questo dispositivo dovrebbero proseguire con un'intensa attività di sperimentazione. L'impatto del dielettrico high-k (TiO2) è stato osservato anche sul transistor NMOS. La corrente di dispersione sotto soglia è diminuita con l'aumento della tensione di soglia; ciò riduce il consumo di energia e migliora le prestazioni del transistor NMOS. La riduzione della perdita di gate e dell'oscillazione sotto soglia fa sì che la struttura NMOS ad alto coefficiente di k sia una valida alternativa per i futuri dispositivi MOS su scala nanometrica. Dall'analisi si può anche concludere che, con il ridimensionamento dei dispositivi, la tensione di soglia diminuisce.
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