Halbleitende Dünnfilmmaterialien sind die Grundbestandteile von photonischen, elektrischen und magnetischen Geräten. Durch die Veränderung der Eigenschaften der Materialien und die Verringerung ihrer Größe ermöglicht die Herstellung von Materialien in Form von Dünnschichten eine einfache Integration in verschiedene Geräte. Die Hauptvorteile von Dünnschichtsystemen sind die Geräteeffizienz und die Kostenreduzierung. Sie werden häufig eingesetzt, um elektrische und optische Eigenschaften zu verändern, Oberflächen vor Chemikalien zu schützen und Oberflächen vor Abrieb zu bewahren. Aufgrund ihrer vorteilhaften Verwendung in der Solarenergie, bei Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, magneto-optischen Speichern, Leuchtdioden, multifunktionalen Schutzschichten, Flüssigkristallanzeigen und anderen Technologien wird die Halbleiter-Dünnschichtforschung rasch ausgebaut. In dieser Übersicht werden die jüngsten Entwicklungen auf dem Gebiet der photokatalytischen nanostrukturierten halbleitenden Dünnschichten, ihre Abscheidung, Herstellungstechniken, die Kontrolle der Mikro-/Nanostrukturen der Schichten, physikalisch-chemische Eigenschaften, photokatalytische Mechanismen und ihre photokatalytischen Anwendungen in den Bereichen Energie, einschließlich Wasserstofferzeugung, CO2-Reduktion zu nützlichen Chemikalien und Umweltsanierung erörtert.
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