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Es ist allgemein bekannt, dass die Mikroelektronik eine der einflussreichsten Technologien des zwanzigsten Jahrhunderts ist. Der Boom der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) in den letzten Jahren wäre ohne die Reife der Mikroelektronik-Technologie nicht möglich gewesen. MEMS sind kleine, integrierte Bauelemente, die sowohl elektronische, elektrische als auch mechanische Elemente auf einem einzigen Chip vereinen. MEMS versprechen, die meisten Mikroprodukte zu revolutionieren, indem sie die Mikrofertigung mit dem Mikrobearbeitungsverfahren kombinieren. Auf einem kleinen Siliziumchip kann ein beispielloses Niveau an Überlegenheit, Raffinesse, Funktionalität, Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit zu relativ niedrigen Kosten erreicht werden. MEMS im Nanomaßstab werden in nanoelektromechanische Systeme (NEMS) und Nanotechnologie unterteilt.