V knige rassmatrivajutsya processy formirovaniya ul'tratonkih plenok i nanokristallov silicidov metallov na osnove kremniya i arsenida galliya s ispol'zovaniem metoda nizkojenergeticheskoj ionnoj implantacii v sochetanii s otzhigom (temperaturnyj i lazernyj). Izlozheny mehanizmy obrazovaniya nanostruktur, tehnologicheskie marshruty izgotovleniya nanokristallov i nanoplenok, a takzhe vozmozhnye oblasti ih prmeneniya. Kniga rasschitana dlya nauchnyh rabotnikov, doktorantov, magistrantov i studentov, specializirujushhihsya v fizike kondensirovannyh sred i poverhnosti tverdogo tela, fizicheskoj jelektroniki i materialovedeniya.
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