Die Gesetze der thermisch stimulierten Bildung der Phasenzusammensetzung und Struktur von Filmen auf der Basis von Scutterudit CoSb - als vielversprechendes Material für die Stromversorgung von elektronischen Geräten mit geringer Leistung und für die Schaffung von Kühlschränken auf der Elementbasis im Nanobereich für Computerausrüstung und Infrarotsensoren - werden überprüft. Die Regelmäßigkeiten des Einflusses der Substrattemperatur und der physikalischen und technologischen Parameter der Wärmebehandlung auf die Phasenzusammensetzung, die Struktur und die thermoelektrischen Eigenschaften von Co-Sb-Schichten werden vorgestellt. Die Mechanismen des Einflusses nanoskaliger Faktoren auf die thermoelektrische Effizienz von Co-Sb-Filmen wurden aufgrund der erhöhten strukturellen Defekthaftigkeit durch das Auftreten von Poren, der verringerten Korngröße bei der Wärmebehandlung und der erhöhten Ausdehnung der Korngrenzen als Ergebnis der thermisch aktivierten Prozesse der Diffusionsphasenbildung und der teilweisen Sublimation von Antimonatomen entwickelt. Die Monographie kann sowohl für Wissenschaftler, die auf dem Gebiet der Festkörperphysik und der physikalischen Materialwissenschaft arbeiten, als auch für Studenten, Doktoranden und Bewerber für wissenschaftliche Abschlüsse in verschiedenen Bereichen der Materialwissenschaft nützlich sein.