Fan' Tu

O litograficheskom izgotowlenii nanostruktur iz Fe i Co

Swojstwa i primenenie struktur

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Poluprowodnikowaq promyshlennost' stimuliruet razwitie nanotehnologij i poluchaet ot ätogo nemaluü wygodu. Kak predskazywaet zakon Mura, kolichestwo otdel'nyh nanokomponentow, takih kak tranzistory na chipe, prodolzhaet rasti, uwelichiwaq plotnost' funkcional'nyh älementow i tem samym powyshaq wychislitel'nuü moschnost'. Odnim iz moschnyh metodow kontroliruemogo proizwodstwa w nanometrowom masshtabe qwlqetsq obrabotka sfokusirowannym älektronnym puchkom (FEBIP). Pri ätom sfokusirowannyj älektronnyj puchok ispol'zuetsq dlq lokal'nogo izmeneniq swojstw podlozhki, chto pozwolqet izgotawliwat' nanostruktury proizwol'noj formy i kontroliruemogo himicheskogo sostawa. Naibolee chasto primenqemym i izwestnym metodom FEBIP qwlqetsq metod inducirowannogo osazhdeniq älektronnym puchkom (EBID), w kotorom opredelennye molekuly prekursorow lokal'no dissociiruütsq pod wozdejstwiem älektronnogo puchka, chto priwodit k osazhdeniü neletuchih fragmentow prekursorow. V ätoj knige byli prowedeny issledowaniq po izgotowleniü i primeneniü nanostruktury metodom EBID.

Produktdetails

• Verlag: Sciencia Scripts
• Seitenzahl: 120
• Erscheinungstermin: 19. Januar 2023
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 8mm
• Gewicht: 197g
• ISBN-13: 9786205598863
• ISBN-10: 6205598868
• Artikelnr.: 67313791

Autorenporträt

D-r Fan' Tu w nastoqschee wremq rabotaet uchenym w Karl Cejss SMT GmbH w Rosdorfe (Germaniq), w osnownom zanimaqs' razrabotkoj tehnologij obrabotki sfokusirowannym älektronnym puchkom (FEBIP), wklüchaq osazhdenie i trawlenie. Jeti metody primenqütsq w promyshlennosti po remontu masok, naprimer, masok DUV i EUV.