Oberflächenwissenschaft und Dünnschichttechnologie

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Dieses Buch ist in erster Linie als Lehrbuch für Bachelor-/Master-Studenten der Naturwissenschaften, des Ingenieurwesens und der Technik gedacht. Dieses Buch spielt eine besondere Rolle in den Lehrplänen aller Zweige der Naturwissenschaften, des Ingenieurwesens und der Technik und wird hoffentlich jungen Absolventen wertvolle Leitlinien bieten. Kapitel 1 gibt eine Einführung in Oberflächen und Grenzflächen. In Kapitel 2 geht es um dünne Schichten und Beschichtungen. Kapitel 3 erläutert die Techniken der physikalischen Abscheidung aus der Gasphase. In Kapitel 4 werden die Atomlagenabsche...