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La integración a muy gran escala (VLSI) es un proceso de creación de un circuito integrado mediante la unión de un gran número de transistores en un solo chip. Un circuito integrado tridimensional tiene un efecto positivo tanto en la ejecución como en la longitud de los cables en un sistema de alimentación. Un circuito integrado tridimensional se convertiría en un proceso de desarrollo en el que se reducen los retrasos de conexión y la potencia. Las diversas capas del CI 3D que se han unido podrían realizarse utilizando el método de la vía de silicio. Ofrece un mejor rendimiento que el enfoque convencional debido a la disminución de la longitud y el consumo de energía. Una técnica de mecanismo de acceso de prueba se ha vuelto significativa debido al impacto del coste de enrutamiento de hundimiento. Si se emplea un gran número de TSV, se produce un mayor consumo de área y aumenta el coste final del chip. La distribución desigual de los TSV se produce debido al procedimiento de unión de estratos. Esto afecta no sólo al área, sino también a la longitud del cable y a la temperatura. En la fase de enrutamiento, las vías de silicio pueden realizarse identificando los espacios en blanco del sistema de circuitos integrados.