Optische Bauelemente für mikrofluidische Anwendungen
Heiko Schäfer
Broschiertes Buch

Optische Bauelemente für mikrofluidische Anwendungen

Integrierte optische Detektoren auf Basis amorphen Siliziums und flüssige Lichtwellenleiter für mikrofluidische Anwendungen

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Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit derEntwicklung und Erprobung optischer Komponenten fürapplikationsspezifische Lab-on-Microchips (ALMs).Dies sind zum einen monolithisch integrierte planareLichtwellenleiter mit einem flüssigen Kern und zumanderen strukturierte Dünnschichtdetektoren ausamorphem Silizium, welche hybrid auf dasmikrofluidische System aufgebondet werden. Zu densensorischen Innovationen gehören eine vertikalpolymer-isolierte pin-Diode mit einemDetektionsabstand von 150 µm und ein flüssigerLichtwellenleiter um Anregungslicht orthogonal zurDetektionsrichtung des Senso...