John E. Mahan

Physical Vapor Deposition of Thin Films

• Gebundenes Buch

Produktbeschreibung

Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)

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Produktdetails

• Verlag: Wiley & Sons
• 1. Auflage
• Seitenzahl: 340
• Erscheinungstermin: 1. Februar 2000
• Englisch
• Abmessung: 242mm x 161mm x 21mm
• Gewicht: 608g
• ISBN-13: 9780471330011
• ISBN-10: 0471330019
• Artikelnr.: 09453350

Autorenporträt

JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.

Inhaltsangabe

Introduction to Physical Vapor Deposition.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.