Material i swojstwa samoj powerhnosti podlozhki, a takzhe uslowiq formirowaniq weschestwa na powerhnosti podlozhki w znachitel'noj stepeni opredelqüt swojstwa materialow w tonkoplenochnom sostoqnii. Poka newozmozhno ukazat' na uniwersal'nyj sposob polucheniq tonkih plenok, otwechaüschij wsem sluchaqm primeneniq, no wozmozhno ustanowit' nekotorye osobennosti ih formirowaniq. Osnownymi tehnologicheskimi parametrami qwlqütsq dawlenie, sostaw gazowoj fazy i temperatura, pri ätom neobhodimo uchitywat' topohimicheskij harakter razwitiq processow obmena himicheskimi komponentami mezhdu gazowoj, zhidkoj i twerdoj fazami formiruemym materialom plenok. Tonkie plenki ispol'zuütsq dlq uluchsheniq powerhnostnyh swojstw twerdyh weschestw i poluchili shirokoe rasprostranenie w mikro- i nanoälektronike, älektrotehnike, optike, kosmicheskoj tehnike, p'ezotehnike, mashinostroenii i stroitel'noj industrii. Prawil'nyj wybor materiala mozhet powysit' ustojchiwost' protiw korrozii, ärozii, istiraniq, iznosa, wozdejstwiq razlichnyh agressiwnyh sred.
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