David Weinberger

Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

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Produktbeschreibung

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

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Produktdetails

• Akademische Schriftenreihe Bd. V200353
• Verlag: GRIN Verlag
• 2. Aufl.
• Seitenzahl: 76
• Erscheinungstermin: 23. September 2012
• Deutsch
• Abmessung: 210mm x 148mm x 6mm
• Gewicht: 124g
• ISBN-13: 9783656276708
• ISBN-10: 3656276706
• Artikelnr.: 36538195

Autorenporträt

David Weinberger forscht und lehrt am Berkman Center for the Internet & Society in Harvard, er schreibt für Zeitschriften wie 'Wired' und 'Harvard Business Review' und viele Tageszeitungen. Er schrieb sieben Jahre lang für Woody Allen.