Daniil Abdullaev

Primenenie ionno-luchewogo trawleniq pri udalenii passiwacii mikroshem

Ispol'zowanie w ramkah tehnologii analiza otkazow integral'nyh mikroshem metodom poslojnogo preparirowaniq

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov. V organizacionno-jekonomicheskoj chasti predstavleny raschjoty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledovanij. Rezul'tatom provedjonnoj raboty stala novaya metodika udaleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov, otlichajushhayasya ot sushhestvujushhih vysokoj stepen'ju planarizacii poverhnosti kristalla integral'noj shemy pri minimal'nom povrezhdenii mezhslojnogo dijelektrika.

Produktdetails

• Verlag: LAP Lambert Academic Publishing
• Seitenzahl: 88
• Erscheinungstermin: 26. Februar 2014
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 6mm
• Gewicht: 149g
• ISBN-13: 9783659207068
• ISBN-10: 3659207063
• Artikelnr.: 40607606

Autorenporträt

S otlichiem okonchil MGTU MIRJeA fakul'tet älektroniki po special'nosti "nanotehnologii w älektronike". Sotrudnik laboratorii UNO "Jelektronika". Oblast' issledowanij: prowedenie analiza otkazow integral'nyh mikroshem metodom poslojnogo preparirowaniq.