El silicio poroso (PS) es muy importante por sus aplicaciones en optoelectrónica, sensores biológicos y químicos, micromecanizado, en la fabricación de membranas de difusión y como material de sustrato y trampa para moléculas en la espectrometría de masas de desorción/ionización sin matriz. El PS también puede utilizarse en la energía fotovoltaica, en aplicaciones biomédicas y en baterías y células solares. El PS se produce normalmente por grabado anódico en soluciones basadas en HF o por grabado de manchas en HF/agente oxidante. El método de grabado químico asistido por metales no necesita un sesgo externo y permite la formación de PSL uniformes más rápidamente que el método de grabado por tinción.
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