Processos microelectrónicos para o fabrico de VLSI - Mukherjee, Dr. Debasis
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O livro "Micro-electronic Processes for VLSI Fabrication" é um guia completo e autorizado que analisa os princípios fundamentais e as técnicas avançadas utilizadas no fabrico de circuitos integrados de muito grande escala (VLSI). Abrangendo um vasto leque de tópicos, o livro começa com uma introdução aprofundada à tecnologia de semicondutores de silício, incluindo uma panorâmica dos materiais semicondutores, estrutura cristalina do silício, semicondutores intrínsecos e extrínsecos e os meandros da dopagem e da concentração de portadores. Os capítulos subsequentes aprofundam aspectos cruciais…mehr

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Produktbeschreibung
O livro "Micro-electronic Processes for VLSI Fabrication" é um guia completo e autorizado que analisa os princípios fundamentais e as técnicas avançadas utilizadas no fabrico de circuitos integrados de muito grande escala (VLSI). Abrangendo um vasto leque de tópicos, o livro começa com uma introdução aprofundada à tecnologia de semicondutores de silício, incluindo uma panorâmica dos materiais semicondutores, estrutura cristalina do silício, semicondutores intrínsecos e extrínsecos e os meandros da dopagem e da concentração de portadores. Os capítulos subsequentes aprofundam aspectos cruciais do fabrico de VLSI, explorando técnicas de processamento de bolachas, tais como crescimento, preparação, inspeção de defeitos e vários métodos de limpeza de bolachas. O processo crítico de oxidação é abordado em pormenor, explicando as técnicas de oxidação térmica, seca e húmida, bem como os modelos de crescimento de óxidos. O livro examina extensivamente os métodos de deposição epitaxial, incluindo a deposição química de vapor (CVD), a epitaxia por feixe molecular (MBE) e a epitaxia selectiva. A implantação e a difusão de iões, processos fundamentais para o fabrico de dispositivos semicondutores, são também meticulosamente discutidas, com informações sobre os processos de implantação de iões.
Autorenporträt
Debasis Mukherjee est professeur associé au département d'ingénierie électronique et de communication de la Brainware University. Il a guidé avec succès deux chercheurs jusqu'au doctorat.