Kniga poswqschena probleme issledowaniq powerhnosti s ispol'zowaniem metodow wtorichno-ionnaq mass-spektrometriq (VIMS) i opticheskaq mikroskopiq (OM), kotorye daüt real'nuü informaciü ob älementnom sostawe powerhnosti. Jexperimental'no dokazana nemonotonnaq zawisimost' wyhoda wtorichnyh ionow ot izmeneniq temperatury misheni, chto swqzano s razlichnymi rezhimami raspyleniq, w rezul'tate izmeneniq koncentracii adsorbirowannogo ftora i primesnyh atomow na powerhnosti. Pri poliatomnoj bombardirowke stepen' ärozii powerhnosti mnogokomponentnyh monokristallow wozrastaet w rezul'tate obrazowaniq plotnyh skoplenij qmok trawleniq, chto korreliruet s powyshennym udaleniem materiala misheni w wide atomarnyh i molekulqrnyh ionow. Poluchennye rezul'taty pozwolqt razrabotat' nowye metodiki analiza i trawleniq powerhnosti diälektrikow i poluprowodnikow. Kniga prednaznachena specialistam w oblasti fizika powerhnosti, fizicheskoj älektroniki ,mikroälektronike, a takzhe studentam starshih kursow sootwetstwuüschih special'nostej.
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