Anhand vom praxisbezogenen Beispielen bzw. von erstellten Reinen Räumen werden Prozeßeinrichtungen und Reinraumgeräte erläutert. Es wird dargestellt, wie diese Anlagen nach technischen Gesichtspunkten ausgelegt und betrieben werden müssen. Das gesamte Spektrum der Reinraumtechnologie wird dargestellt: von der Planung bis zur Gestaltung der Reinen Räume und zu den dazugehörigen Ausrüstungen.