Revêtements interférentiels pour l''optique extrême UV
Julien Gautier
Broschiertes Buch

Revêtements interférentiels pour l''optique extrême UV

Etudes et élaboration de revêtement multicouches pour l''optique extrême UV dans la gamme spectrale 30-50 nm

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L'élaboration de nouveaux revêtements interférentiels multicouches est motivée par la demande de l'astrophysique solaire et par le développement de nouvelles sources de rayons EUV (source à génération d'harmoniques d'ordre élevé, laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons étudié et développé différents systèmes multicouches possédant à la fois des propriétés optiques optimisées (réflectivité et/ou bande passante) et une bonne stabilité temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d'onde comprise entre =30 nm et =50 nm. Une augmentation significative de la réfl...