Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) befinden sich derzeit in der Entwicklung, inbesondere im Hinblick auf einen Einsatz in der Telekommunikation. Potentiell können solche Systeme mit wenig oder keiner Leistung betrieben werden. Die Grundlagen von Hochfrequenz-MEMS werden in diesem Buch erläutert, wobei auch auf praktische Aspekte des Schaltkreisentwurfs eingegangen wird. Auch Switches, Phasenschieber, Varaktoren und Oszillatoren werden beschrieben. Herstellungs- und Verpackungstechniken werden gleichermaßen erläutert.
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"...an excellent book for graduate students or practicing engineers in the field of RF microwave technology who need to learn about the latest developments in the RF MEMS world." ( IEEE Electrical Insulation Magazine , November/December 2004)
"It provides the most comprehensive survey of this new and important technology." ( Microwave Journal , January 2004)
"...an invaluable addition to the research library, and highly recommended to all interested in this fascinating technology." ( Microwaves & RF , June 2003)
"It provides the most comprehensive survey of this new and important technology." ( Microwave Journal , January 2004)
"...an invaluable addition to the research library, and highly recommended to all interested in this fascinating technology." ( Microwaves & RF , June 2003)