Jekal' Tuna

Broschiertes Buch

Rost i harakteristika tonkoj plenki ITO metodom magnetronnogo raspyleniq

rost ITO

Beschreibung

V ätom issledowanii tonkie plenki iz oxida indiq-olowa (ITO) wyraschiwalis' kak s pomosch'ü metodow raspyleniq magnetronow DC i RF. Chtoby uznat' skorost' osazhdeniq ITO, sistema byla otkalibrowana dlq DCMS i RFMS, a zatem ITO byli wyrascheny na steklqnnoj podlozhke tolschinoj 70 nm i 40 nm putem izmeneniq temperatury podlozhki. Vliqnie temperatury podlozhki, tolschiny plenki i metoda napyleniq na strukturnye, älektricheskie i opticheskie swojstwa byli issledowany. Rezul'taty pokazali, chto temperatura podlozhki i tolschina plenki suschestwenno wliqüt na swojstwa plenki, osobenno na kristallizaciü i udel'noe soprotiwlenie. Tonkie plenki, wyraschennye pri temperature nizhe 150 oS, imeüt amorfnuü strukturu. Odnako kristallizaciq byla obnaruzhena pri dal'nejshem powyshenii temperatury podlozhki. Razryw polosy ITO pri temperature podlozhki 150 oS rasschitywalsq primerno w 3,64eV, a ego shirina uwelichiwalas' s rostom temperatury podlozhki. Iz älektricheskih izmerenij polucheno udel'noe soprotiwlenie pri komnatnoj temperature 1.28×10-4 i 1.29×10-4 D-sm, dlq plenok s napyleniem po postoqnnomu i radiochastotnomu toku sootwetstwenno. Izmerqli takzhe udel'noe soprotiwlenie w zawisimosti ot temperatury i koäfficient Holla plenok, wychislqli koncentraciü nositelq i podwizhnost' Holla.

Autor

V period s 2000 po 2005 god w uniwersitete Dokuz Jejlül' byla zawershena ego bekholernaq nauka, a w 2009 godu w Izmirskom tehnologicheskom institute byla poluchena stepen' magistra. V nastoqschee wremq on zaschischaet doktorskuü dissertaciü w uniwersitete RWTH Aachen w Germanii i rabotaet nad issledowaniem "Rost InN" i "Bogataq geterostruktura" MOCVD i ih opisaniem.

Produktdetails

• Verlag: Sciencia Scripts
• Seitenzahl: 100
• Erscheinungstermin: 21. Oktober 2021
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 6mm
• Gewicht: 167g
• ISBN-13: 9786203340303
• ISBN-10: 6203340308
• Artikelnr.: 62798732