Vipul Vaibhav Mishra

Sensor Acústico MEMS à base de Nitreto de Alumínio

Simulação e Fabrico de Design

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Sensor baseado em Nitreto de Alumínio detalha a concepção, simulação e fabrico do sensor acústico MEMS baseado em AlN para medição do nível de pressão sonora elevada que é benéfico tanto para os investigadores como para os estudantes que procuram compreender melhor o fabrico do sensor e tornar-se mais eficientes e produtivos na tecnologia de sensores. Este livro detalha a comparação entre as diferentes propriedades dos materiais piezoeléctricos. Cobre as principais características das etapas de fabrico de semicondutores com aspectos práticos e teóricos, que devem apelar aos leitores com interesses e necessidades variadas. O autor, partilha conhecimentos e experiência valiosos sobre concepção, simulação e fabrico de sensores acústicos. Os tópicos específicos abrangidos incluem concepção e modelação matemática, disposição de máscaras, micromaquinagem a granel e optimização de diafragma, concepção de máscaras, desenvolvimento e optimização da camada AlN.

Produktdetails

• Verlag: Edições Nosso Conhecimento
• Seitenzahl: 108
• Erscheinungstermin: 30. November 2022
• Portugiesisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 7mm
• Gewicht: 179g
• ISBN-13: 9786205415702
• ISBN-10: 6205415704
• Artikelnr.: 66780078

Autorenporträt

Vipul Vaibhav Mishra, M.Tech: Estudou Design e Tecnologia Electrónica na Universidade Tezpur. Tem experiência de investigação no grupo MEMS & Micro Sensor na CSIR-CEERI, Pilani também trabalhou como Asst. Professor no MNIT Jaipur, ITM University Gwalior e IET Lucknow. A sua área de interesse é MEMS,Semiconductor devices Nanotechnology and material science