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Sensore basato sul nitruro di alluminio illustra in dettaglio la progettazione, la simulazione e la fabbricazione di un sensore acustico MEMS basato su AlN per la misurazione di alti livelli di pressione sonora, utile sia ai ricercatori che agli studenti che desiderano comprendere meglio la fabbricazione del sensore e diventare più efficienti e produttivi nella tecnologia dei sensori. Questo libro illustra in dettaglio il confronto tra le proprietà di diversi materiali piezoelettrici. Copre le principali caratteristiche delle fasi di fabbricazione dei semiconduttori con aspetti sia pratici che…mehr

Produktbeschreibung
Sensore basato sul nitruro di alluminio illustra in dettaglio la progettazione, la simulazione e la fabbricazione di un sensore acustico MEMS basato su AlN per la misurazione di alti livelli di pressione sonora, utile sia ai ricercatori che agli studenti che desiderano comprendere meglio la fabbricazione del sensore e diventare più efficienti e produttivi nella tecnologia dei sensori. Questo libro illustra in dettaglio il confronto tra le proprietà di diversi materiali piezoelettrici. Copre le principali caratteristiche delle fasi di fabbricazione dei semiconduttori con aspetti sia pratici che teorici, che dovrebbero interessare lettori con interessi ed esigenze diverse. L'autore condivide conoscenze ed esperienze preziose sulla progettazione, la simulazione e la fabbricazione di sensori acustici. Gli argomenti specifici trattati comprendono la progettazione e la modellazione matematica, il layout della maschera, la microlavorazione in massa e l'ottimizzazione del diaframma, la progettazione della maschera, lo sviluppo e l'ottimizzazione dello strato di AlN.
Autorenporträt
Vipul Vaibhav Mishra, M.Tech: Estudou Design e Tecnologia Electrónica na Universidade Tezpur. Tem experiência de investigação no grupo MEMS & Micro Sensor na CSIR-CEERI, Pilani também trabalhou como Asst. Professor no MNIT Jaipur, ITM University Gwalior e IET Lucknow. A sua área de interesse é MEMS,Semiconductor devices Nanotechnology and material science