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É um facto bem conhecido que a microelectrónica é uma das tecnologias mais influentes do século XX. O boom dos sistemas microelectromecânicos (MEMS), nos últimos anos, não teria sido possível sem a maturidade da tecnologia da micro-electrónica. Os MEMS são dispositivos pequenos e integrados, que combinam electrónica, elemento eléctrico bem como mecânico num único chip. MEMS promete revolucionar a maioria dos microprodutos através da microfabricação a pente fino com processo de micromaquinagem. Um nível sem paralelo de superioridade, sofisticação, funcionalidade, fiabilidade e disponibilidade pode ser alcançado num pequeno chip de silício a um custo relativamente baixo. O MEMS à escala nanométrica está dividido em sistemas nanoelectromecânicos (NEMS) e nanotecnologia.