Solarzellen mit vergrabenen Kontakten
Ätzen von Silizium
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Herstellungstechniken für Solarzellen mit vergrabenen Vorder- und Rückkontakten erfordern in der Regel eine Vielzahl von physikalischen und chemischen Behandlungen des Halbleitermaterials (Silizium). Die Fotolithografie ist ein solches Herstellungsverfahren, das in der Optik und Mikroelektronik weit verbreitet ist. Bei diesem Verfahren wird ein lichtempfindliches Polymer auf das Substrat aufgebracht, um das Bild einer Maske zu übertragen und durch Ätzen auf das Substrat zu übertragen.
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