Spectroscopie térahertz
Application aux mesures de films minces
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Nous présentons des études sur la spectroscopie térahertz des matériaux en films minces dont les épaisseurs sont inférieures à la longueur d'onde térahertz. Pour obtenir la sensibilité nécessaire, nous mettons en uvre des techniques de renforcement du champ électromagnétique au voisinage du film mince, grâce à l'excitation de résonances électromagnétiques. Après une introduction, dans la 2éme et la 3éme parties de ce travail, nous présentons un état de l'art des méthodes de caractérisation, ainsi que la technique expérimentale employée. Dans la quatrième partie, nous...
Nous présentons des études sur la spectroscopie térahertz des matériaux en films minces dont les épaisseurs sont inférieures à la longueur d'onde térahertz. Pour obtenir la sensibilité nécessaire, nous mettons en uvre des techniques de renforcement du champ électromagnétique au voisinage du film mince, grâce à l'excitation de résonances électromagnétiques. Après une introduction, dans la 2éme et la 3éme parties de ce travail, nous présentons un état de l'art des méthodes de caractérisation, ainsi que la technique expérimentale employée. Dans la quatrième partie, nous étudions comme dispositif de renforcement électromagnétique un guide d'onde en silicium sur lequel est gravé un réseau de couplage. Nous avons pu déterminer avec précision les paramètres diélectriques de films minces. Nous indiquons comment optimiser ce dispositif pour mesurer des films submicroniques. Dans la dernière partie de ce travail, nous étudions les propriétés électromagnétiques d'un réseau métallique à deux dimensions. Nous montrons qu'un tel dispositif permet de caractériser un film mince posé sur une de ses faces, mais peut aussi servir de filtre spectral pour les ondes térahertz.
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