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Lo sviluppo di questo lavoro è nato come preparazione per un futuro progetto del CEMMPRE che consiste nella produzione di film sottili di DLC per fasce elastiche di motori a combustione interna ad alta compressione depositati da HiPIMS in modalità DOMS. L'obiettivo di questo lavoro è studiare l'influenza di alcuni parametri di deposizione nei campioni, al fine di ottenere una linea guida da seguire nel progetto. La variazione del bias del substrato mostra che aumentando il bias del substrato nel processo di deposizione aumenta la durezza dei rivestimenti DLC. Aumentando la polarizzazione del substrato, gli ioni di carbonio nel plasma sono attratti con maggiore slancio verso il substrato e si ottiene una struttura più compatta dei film. Nell'ambito di questa tesi, è stato prodotto Ne nel gas di scarica e sono stati studiati gli effetti del Ne. Il Ne aumenta il grado di ionizzazione del carbonio nel plasma e quindi aumenta il rapporto sp3 nella struttura del film. Poiché l'ibridazione sp3 è più potente, i rivestimenti depositati con Ne mostrano una maggiore durezza nel test di nano-indentazione.