Katsumi Suzuki / Shinji Matsui / Yukinori Ochiai (eds.)

Broschiertes Buch

Sub-Half-Micron Lithography for Ulsis

Beschreibung

Sub-Half-Micron Lithography for Ulsis

Produktdetails

• Verlag: Cambridge University Press
• Seitenzahl: 344
• Erscheinungstermin: 30. August 2005
• Englisch
• Abmessung: 246mm x 189mm x 19mm
• Gewicht: 667g
• ISBN-13: 9780521022347
• ISBN-10: 0521022347
• Artikelnr.: 22365794