Les tendances récentes en matière de piles à combustible à oxydes solides visent à exploiter la conduction du proton par l utilisation d électrolytes de structure de type pérovskite, plus performants à température modérée que les électrolytes conducteurs de l ion oxyde. Une seconde voie d amélioration des performances des piles consiste à diminuer l épaisseur de l électrolyte aux alentours de 5-10 micron pour minimiser sa résistance. Dans ce contexte, les procédés de dépôt physique trouvent un intérêt majeur. Dans ce travail, nous nous sommes attachés à étudier la faisabilité de couches denses de cérates ou de zirconates de baryum ou de strontium, les électrolytes conducteurs protoniques les plus aptes à répondre aux besoins de l application, par co-pulvérisation de cibles métalliques en présence d une atmosphère réactive d argon-oxygèn.