Steigende Anforderungen an die Fabrikplanung beispielsweise in den Bereichen Energie- und Ressourceneffizienz, turbulente Märkte, wachsende Arbeitsproduktivität und Automatisierung sowie strengere gesetzliche Reglungen haben zu mehr Komplexität und damit zu höherem Planungsaufwand in der Fabrikplanung geführt. Die gleichzeitige Verkürzung von Produkt- und Prozesslebenszyklen ebenso wie der Wunsch der Industrie durch kürzere Fabrikplanungsprozesse Wettbewerbsvorteile zu erschließen und Flexibilität zu gewinnen, spiegeln die aktuelle Situation der Fabrikplanung wieder. Vor diesem Hintergrund befasst sich diese Arbeit mit der Entwicklung einer Planungssystematik zur proaktiven Integration der Anlagenplanung in den Gesamtprozess der Fabrikplanung. Die entwickelte Planungssystematik umfasst fünf Planungsphasen und zwei Quality Gates. Diese beinhalten die Entwicklung der Anlagenstruktur, die Veränderung dieser bis zum Produktionsstart der Fabrik, den Einfluss von Genehmigungsverfahren sowie die komplexitäts- und strukturabhängige Integration der Planungsmodule der Anlagenplanung in den Ablauf der Fabrikplanung. Die Planungssystematik der proaktiven Anlagenplanung wurde am praktischen Beispiel einer Fabrikneuplanung in ihren einzelnen Planungsschritten validiert.