Técnicas de litografia
Da microlitografia à nanolitografia
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Nesta era, os dispositivos electrónicos, tais como telemóveis, computadores, computadores portáteis, sensores e muitos outros dispositivos, tornaram-se uma necessidade para o homem em termos de cuidados de saúde, de um estilo de vida agradável e de execução rápida e fácil de tarefas. Foram desenvolvidos diferentes tipos de sensores de temperatura, biossensores, fotossensores, etc., para satisfazer as necessidades das pessoas. Todos estes dispositivos possuem chips fabricados com díodos, transístores, portas lógicas e circuitos integrados. A modelação do substrato que é utilizado...
Nesta era, os dispositivos electrónicos, tais como telemóveis, computadores, computadores portáteis, sensores e muitos outros dispositivos, tornaram-se uma necessidade para o homem em termos de cuidados de saúde, de um estilo de vida agradável e de execução rápida e fácil de tarefas. Foram desenvolvidos diferentes tipos de sensores de temperatura, biossensores, fotossensores, etc., para satisfazer as necessidades das pessoas. Todos estes dispositivos possuem chips fabricados com díodos, transístores, portas lógicas e circuitos integrados. A modelação do substrato que é utilizado para o desenvolvimento destes dispositivos é efectuada com a ajuda de uma técnica conhecida por Litografia. No presente trabalho, procedemos a uma revisão de diferentes tipos de técnicas litográficas, como a litografia ótica, a litografia de ultravioleta extremo, a litografia de feixe de electrões, a litografia de raios X e a litografia de feixe de iões. São discutidas as evoluções registadas nestas técnicas ao longo do tempo e as suas aplicações no fabrico de dispositivos. São também abordadas diferentes ferramentas de exposição desenvolvidas na última década para melhorar a resolução dos dispositivos. São abordadas as resinas quimicamente amplificadas e não quimicamente amplificadas, bem como a sua ligação e espessura.
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