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En esta era, los dispositivos electrónicos como teléfonos móviles, ordenadores, portátiles, sensores y muchos más dispositivos se han convertido en una necesidad para el hombre para el cuidado de la salud, un estilo de vida agradable y para realizar tareas de forma rápida y sencilla. Se han desarrollado diferentes tipos de sensores de temperatura, biosensores, fotosensores, etc. para satisfacer las necesidades de la gente. Todos estos dispositivos llevan en su interior chips fabricados con diodos, transistores, puertas lógicas y circuitos integrados. El patrón del sustrato que se utiliza para el desarrollo posterior de estos dispositivos se realiza con la ayuda de una técnica conocida como litografía. En el presente trabajo, hemos realizado una revisión de diferentes tipos de técnicas litográficas como la litografía óptica, la litografía ultravioleta extrema, la litografía por haz de electrones, la litografía por rayos X y la litografía por haz de iones. Se analizan la evolución de estas técnicas a lo largo del tiempo y sus aplicaciones en la fabricación de dispositivos. También se discuten diferentes herramientas de exposición desarrolladas en la última década para mejorar la resolución de los dispositivos. Se analizan los resistivos amplificados y no amplificados químicamente, con su unión y grosor.