Nastoqschaq rabota poswqschaetsq prowedeniü termodinamicheskogo analiza fiziko - himicheskih processow rosta äpitaxial'nyh sloew poluprowodnikowogo soedineniq Ga2Se3 iz gazowoj fazy w protochnoj sisteme Ga - Se - Cl - H i modelirowaniü tehnologicheskih processow dlq prognozirowaniq wozmozhnyh tehnologicheskih wariantow i opredeleniq optimal'nyh uslowij prowedeniq sinteza ätogo soedineniq. Priwodqtsq rezul'taty issledowanij po opredeleniü i wychisleniü termodinamicheskih parametrow indiwidual'nyh weschestw sistemy Ga - Se - Cl - H, dlq ispol'zowaniq ih pri termodinamicheskom modelirowanii processow rosta äpitaxial'nyh sloew Ga2Se3 iz gazowoj fazy. Issleduetsq swqz' mezhdu termodinamicheskimi peremennymi i tehnologicheskimi parametrami processa sinteza Ga2Se3 w reaktore otkrytogo tipa s razdel'nymi istochnikami galliq i selena. Proillüstriruetsq shema raschöta tehnologicheskih parametrow processa wyraschiwaniq äpitaxial'nyh sloew Ga2Se3 w protochnoj gazotransportnoj sisteme s razdel'nymi istochnikami galliq i selena.