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Silizium ist der wichtigste Werkstoff in der Halbleitertechnologie. Obwohl der defektfreie Si-Einkristall einer der bestverstandenen Systeme in den Materialwissenschaften ist, ist die Si-Elektrochemie für viele nachwievor eine Art "Alchemie". Dies liegt hauptsächlich an den interdisziplinären Aspekten des Themas: Physik und Chemie treffen sich an der Silizium-Elektrolyt Grenzfläche Dieses Buch gibt einen kompakten Überblick dieses wichtigen Themas der Siliziumtechnik unter Einbeziehung zahlreicher Anwendungsbeispiele, von photonischen Kristallen bis hin zu Biochips. Es dient insbesondere…mehr

Produktbeschreibung
Silizium ist der wichtigste Werkstoff in der Halbleitertechnologie. Obwohl der defektfreie Si-Einkristall einer der bestverstandenen Systeme in den Materialwissenschaften ist, ist die Si-Elektrochemie für viele nachwievor eine Art "Alchemie". Dies liegt hauptsächlich an den interdisziplinären Aspekten des Themas: Physik und Chemie treffen sich an der Silizium-Elektrolyt Grenzfläche Dieses Buch gibt einen kompakten Überblick dieses wichtigen Themas der Siliziumtechnik unter Einbeziehung zahlreicher Anwendungsbeispiele, von photonischen Kristallen bis hin zu Biochips. Es dient insbesondere Ingenieuren und Werkstoff-Experten der Si-Technik als kompaktes Nachschlagewerk mit seinen mehr als 150 technischen Tabellen und Diagrammen und die über 1000 Literaturzitate erlauben einen schnellen Zugang zur Originalliteratur.