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Die Untersuchung dünner Filme ist im Rahmen der Nanostrukturierung und der immer weiter voranschreitenden Miniaturisierung elektronischer Bauelemente ein wichtiges Forschungsgebiet. Dabei ist die Frage nach der Stabilität und der selbstorganisierten Strukturbildung von dünnen Polymerfilmen von Bedeutung. Diese werden stark von der Dynamik an Grenz- und Oberflächen beeinflusst. In der vorliegenden Arbeit ist die Dynamik von dünnen Polymerfilmen zum einen experimentell zusammen mit Kontinuumsmodellierungen und zum anderen mit Molekulardynamik Simulationen untersucht worden. Dazu wurden dünne Polycarbonat Filme durch thermisches Verdampfen im Vakuum hergestellt, experimentell mit verschiedenen Methoden strukturell und topographisch charakterisiert und zur Identifikation dominierender Wachstumsprozesse mit stochastischen Ratengleichungen modelliert. Zum anderen wurde die Dynamik von dünnen, freistehenden Polymerfilmen mithilfe von Molekulardynamik Simulationen betrachtet. Des Weiteren wurden Messungen lokaler mechanischer Eigenschaften durchgeführt. Dafür wurden Kraft-Abstandskurven ausgewertet und ein Rasterkraftmikroskop zu einem akustischen Rasterkraftmikroskop (AFAM) erweitert.