Vladimir Vetoshkin, Petr Krylow

Vakuumno-plazmennye processy obrabotki kwarca

Issledowanie wliqniq obrabotki w razlichnyh gazah na powerhnost' kwarca.

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Produktbeschreibung

V rabote opisana nowaq konstrukciq i shema raspolozheniq katodnogo i anodnogo uzlow razrabotannoj ustanowki ionno-plazmennogo trawleniq mikrostruktur so skaniruemym VCh - magnetronom, obespechiwaüschie wysokie skorosti ionnogo i reaktiwno-ionnogo trawleniq razlichnyh materialow. Opredeleny i opisany optimal'nye rezhimy trawleniq kwarca. Vperwye predlozheno ustrojstwo dlq utilizacii hlorsoderzhaschih gazow i (ili) izmeneniq sostawa rabochego gaza. Opredeleny optimal'nye rezhimy processow reaktiwnogo ionno-luchewogo trawleniq kwarca w razlichnyh hlorsoderzhaschih gazah. Issledowany wozmozhnosti ispol'zowaniq twerdotel'nogo istochnika ftora dlq ionno-luchewogo trawleniq kwarca. Opredeleny optimal'nye rezhimy ionno-luchewyh i ionno-plazmennyh processow polirowki kwarca.

Produktdetails

• Verlag: LAP LAMBERT Academic Publishing
• Seitenzahl: 144
• Erscheinungstermin: 15. Juni 2011
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 9mm
• Gewicht: 233g
• ISBN-13: 9783844352887
• ISBN-10: 3844352880
• Artikelnr.: 62819731

Autorenporträt

kandidaty tehnicheskih i fiziko- matematicheskih nauk sootwetstwenno, sotrudniki Udmurtskogo gosudarstwennogo Uniwersiteta. Awtory statej poswqschennyh razrabotke ustrojstw po utilizacii agressiwnyh gazow i wliqniü ionno-luchewoj i ionno-plazmennoj obrabotki na älektrofizicheskie parametry i sherohowatost' powerhnosti.