Marina Lipaj

Vwedenie w tehnologiü 3D TSV integral'nyh shem

Issledowanie processow fotoselektiwnogo formirowaniq funkcional'nyh struktur w sistemah na osnowe plenok dioxida titana

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Produktbeschreibung

V dannoj rabote byli podobrany usloviya i sostavy rastvorov, udovletvoryajushhie vsem trebovaniyam, neobhodimym dlya polucheniya nanometricheskih nikelevyh plenok, kotorye ispol'zujutsya v kachestve bar'ernyh i tokoprovodyashhih sloev pri metallizacii trudnodostupnyh uchastkov poverhnosti poluprovodnikov v tehnologii 3D TSV integral'nyh shem. Razlichnymi metodami (jelektronno-mikroskopicheskoe issledovanie i dr.) polucheny novye dannye o vliyanii razlichnyh aktivatorov (palladievyj, mednyj), solej redkozemel'nyh metallov (lantan, vismut) na processy obrazovaniya i rosta zarodyshej novoj fazy (Ni-P), a takzhe na sostav, strukturu i svojstva plenok nikel'-fosfor, formirujushhihsya iz rastvora himicheskogo nikelirovaniya na podlozhkah razlichnoj prirody (kremnij, steklo, ITO).

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Produktdetails

• Verlag: LAP Lambert Academic Publishing
• Seitenzahl: 68
• Erscheinungstermin: 25. Februar 2014
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 5mm
• Gewicht: 119g
• ISBN-13: 9783659113093
• ISBN-10: 3659113093
• Artikelnr.: 40607770

Autorenporträt

Okonchila himicheskij fakul'tet Belorusskogo gosudarstwennogo uniwersiteta. Luchshij wypusknik BGU-2012. Pobeditel' Respublikanskogo konkursa nauchnyh rabot studentow wysshih uchebnyh zawedenij RB (Minsk, Belarus'), uchastnik stazhirowki molodyh uchenyh stran-uchastnic SNG (Dubna, Rossiq). Sfera nauchnyh interesow - mikro- i nanoälektronika.