S.V. Dzhagadesh Chandra, Mallem Kumar, V. V. Ramana

Vysokokristallicheskie diälektricheskie plenki iz oxida tantala, legirowannogo cirkoniem, dlq MOP-priborow

Proektirowanie KMOP

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Diälektriki s wysokoj pronicaemost'ü i podhodqschie podlozhki intensiwno izuchaütsq s cel'ü ih ispol'zowaniq w razrabotke SBIS. Nowyj smeshannyj wysokokristallicheskij diälektrik zatwora, t.e. oxid tantala, legirowannyj cirkoniem (Zr-doped TaOx) i oxid tantala, legirowannyj gafniem (Hf-doped TaOx), byl tschatel'no izuchen dlq buduschih prilozhenij MOP-tranzistorow. Osazhdenie nowogo high-k diälektrika zatwora putem smeshiwaniq Ta2O5 s ZrO2 i HfO2 metodom sowmestnogo napyleniq, chtoby dostich' trebowanij termodinamicheskoj stabil'nosti, wysokogo diapazona temperatury perehoda amorfnogo sostoqniq w kristallicheskoe, bol'shogo älektricheskogo zazora i bol'shogo bar'era änergeticheskoj polosy s Si dlq äry ULSI. Byli prowedeny obshirnye issledowaniq processa izgotowleniq i harakteristik ustrojstw. Takim obrazom, äta kniga budet polezna chitatelqm dlq oznakomleniq s nekotorymi wazhnymi woprosami, kasaüschimisq smeshannyh diälektricheskih materialow s high-k zatworom dlq wysokochastotnyh ustrojstw.

Produktdetails

• Verlag: Sciencia Scripts
• Seitenzahl: 56
• Erscheinungstermin: 30. September 2022
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 4mm
• Gewicht: 102g
• ISBN-13: 9786205216897
• ISBN-10: 6205216892
• Artikelnr.: 65979088

Autorenporträt

D-r S.V. Dzhagadesh Chandra, professor kafedry älektrotehniki, LBRCE, Mylavaram. Opublikowal 2 knigi i 35 nauchnyh statej w specializirowannyh zhurnalah. M. Kumar, Uniwersitet Sungk'ünkwan, Juzhnaq Koreq. Opublikowal 02 mezhdunarodnye stat'i. Doktor Ch.V.V.Ramana, Uniwersitet Johannesburga, Juzhnaq Afrika. Opublikowal 05 knig, 01 glawu knigi i 44 nauchnye stat'i.