Advancing Silicon Carbide Electronics Technology II (eBook, PDF)

Redaktion: Vasilevskiy, K.; Zekentes, K.

• Format: PDF

Produktbeschreibung

The book presents an in-depth review and analysis of Silicon Carbide device processing. Keywords: Silicon Carbide, SiC, Technology, Processing, Semiconductor Devices, Material Properties, Polytypism, Thermal Oxidation, Post Oxidation Annealing, Surface Passivation, Dielectric Deposition, Field Effect Mobility, Ion Implantation, Post Implantation Annealing, Channeling, Surface Roughness, Dry Etching, Plasma Etching, Ion Etching, Sputtering, Chemical Etching, Plasma Chemistry, Micromasking, Microtrenching, Nanocrystal, Nanowire, Nanotube, Nanopillar, Nanoelectromechanical Systems (NEMS).

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Produktdetails

• Verlag: Materials Research Forum LLC
• Seitenzahl: 292
• Erscheinungstermin: 15. März 2020
• Englisch
• ISBN-13: 9781644900673
• Artikelnr.: 72427319