Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (eBook, PDF)

Redaktion: Kittler, Martin; Schröter, Wolfgang; Endrös, A.; Breitenstein, Otwin

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Proceedings of the 5th International Workshop on Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August/September 1998

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 550
• Erscheinungstermin: 18. Dezember 1998
• Englisch
• ISBN-13: 9783035706826
• Artikelnr.: 69101554