Seán Thomas Barry

Chemistry of Atomic Layer Deposition (eBook, PDF)

• Format: PDF

Produktbeschreibung

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.

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Produktdetails

• Verlag: Walter de Gruyter GmbH & Co.KG
• Seitenzahl: 113
• Erscheinungstermin: 8. November 2021
• Englisch
• ISBN-13: 9783110712537
• Artikelnr.: 63519636

Autorenporträt

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.