Simeon M. Metev, Vadim P. Veiko

Laser-Assisted Microtechnology (eBook, PDF)

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Laser-Assisted Microtechnology deals with laser applications to a wide variety of problems in microelectronic design and fabrication. It covers micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted synthesis of thin-film systems. The monograph describes fundamental aspects and practical details of the technological processes as well as the optimum conditions for their realization.

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Produktdetails

• Verlag: Springer Berlin Heidelberg
• Seitenzahl: 240
• Erscheinungstermin: 8. März 2013
• Englisch
• ISBN-13: 9783642973277
• Artikelnr.: 53091240