Markus Glück

MEMS in der Mikrosystemtechnik (eBook, PDF)

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.

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Produktdetails

• Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
• Seitenzahl: 212
• Erscheinungstermin: 27. Februar 2015
• Deutsch
• ISBN-13: 9783663107781
• Artikelnr.: 44132483

Autorenporträt

Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.