Microlithography (eBook, PDF)

Science and Technology
Redaktion: Smith, Bruce W.; Suzuki, Kazuaki

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.

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Produktdetails

• Verlag: Taylor & Francis
• Seitenzahl: 850
• Erscheinungstermin: 1. Mai 2020
• Englisch
• ISBN-13: 9781439876763
• Artikelnr.: 59369009