Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito

Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (eBook, PDF)

• Format: PDF

Produktbeschreibung

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

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Produktdetails

• Verlag: Taylor & Francis
• Seitenzahl: 336
• Erscheinungstermin: 8. Oktober 2018
• Englisch
• ISBN-13: 9781482273762
• Artikelnr.: 57899013

Autorenporträt

Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito