R. P. Donovan

Particle Control for Semiconductor Manufacturing (eBook, PDF)

• Format: PDF

Produktbeschreibung

There is something Alice-in-Wonderlandish about powerful and vital computer systems being shut down by a microscopic mote that a hay-feverist wouldn't sneeze at, but as computer chips get smaller, smaller and smaller particles on their surface have a larger and larger effect on their performance. In

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Produktdetails

• Verlag: Taylor & Francis
• Seitenzahl: 480
• Erscheinungstermin: 4. Mai 2018
• Englisch
• ISBN-13: 9781351425759
• Artikelnr.: 56839957