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"[...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufwändigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt."
ImpulsE, 1/2006
"Für den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten".
Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006
Zur 1. Auflage:
"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."
ImpulsE 6/01