Silizium-Planartechnologie (eBook, PDF)
Grundprozesse, Physik und Bauelemente
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Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.
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